半导体无尘车间搬运可以用哪些工具？

来源：http://www.lhqzby.com/ 分类：搬运设备 时间：2025-6-25  14:33:30

        半导体制造对生产环境的洁净度要求近乎苛刻，任何微小的尘埃、震动或静电都可能对敏感的晶圆和精密设备造成毁灭性影响。半导体无尘车间搬运工具不仅要满足基本的承重与移动需求，更要确保零污染、零震动、零静电，同时具备精准微调能力。那么，半导体无尘车间搬运可以用哪些工具？

一、半导体无尘车间起重搬运设备

1、气垫搬运车

气垫搬运车以空气为动力，不会产生高温和火花和灰尘，不会污染环境，可前进、后退以及360度旋转，防震无晃动，适合半导体无尘车间搬运，主气源流量≥1.6立方米/分，保质五年。

2、气浮搬运平台

气浮搬运平台和气垫搬运车采用同样的工作原理，气源驱动，防震无火花，定制范围更广，可定制载荷、尺寸、气囊数量、驱动方式、操控方式等，适合不同形状和尺寸的半导体无尘车间搬运，保质五年。

气垫搬运车（质保五年）	气浮搬运平台（保质五年）

二、半导体无尘车间微调顶升设备

1、无尘室带滑台爪式千斤顶

无尘室带滑台爪式千斤顶可顶升可100mm范围前后移动，表面经过特殊处理，防尘防锈防静电，适合半导体微调位移，日本NOK进口油封，保质2年，无尘室带滑动轮爪式千斤顶可选（前后左右100mm移动）

无尘室带滑台爪式千斤顶（保质2年）	无尘室带滑动轮爪式千斤顶（保质2年）

2、楔形千斤顶

日本DIAKI楔形千斤顶可顶升可推移，采用铝合金材质，防腐蚀耐生锈，一体便携式设计，配有液压手柄可360度旋转，操作简单，可利用5mm空隙顶升至34mm，狭窄空间轻松操作。

3、无尘推移滑动纸

仅有A4纸大小，拥有1-5厘米的微调距离，可任意前后左右自由移动，适合1-9吨小型半导体无尘车间搬运，可用于流水线设备微调，相比较其他移动工具性价比高。

日本DAIKI楔形千斤顶	无尘推移滑动纸

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